前言
電子專用設備和儀器制造業是為電子信息產業和國民經濟發展提供技術裝備儀器的基礎性、戰略性產業。大力振興電子專用設備和儀器制造業，是貫徹黨的十六大“大力振興裝備制造業”和《國務院關于加快振興裝備制造業的若干意見》精神，落實《2006-2020年國家信息化發展戰略》，實現電子信息產業可持續發展的戰略舉措。
根據《信息產業“十一五”規劃》的總體部署，在深入調研、廣泛論證的基礎上，編制本規劃，以此作為“十一五”我國電子專用設備和儀器產業發展的指導性文件，作為進一步加強和規范行業管理、指導重大工程建設實施的依據。本規劃主要涉及半導體和集成電路專用設備、電子整機裝聯設備、新型顯示器件專用設備、新型電子元器件專用設備等4種發展前景較好的設備以及電子測量儀器領域。
一、“十五”回顧
產業規模不斷擴大。“十五”期間，我國電子專用設備和儀器產業規模增長較快，銷售收入比“九五”末期翻了一番。根據中國電子專用設備工業協會的統計，2005年我國電子專用設備產業實現銷售收入44.9億元、工業增加值14.1億元、利潤總額3.7億元。根據中國電子儀器行業協會統計，“十五”末期，我國電子測量儀器產業實現銷售收入77億元、工業增加值21.9億元、利潤總額4.3億元。各項指標均實現大幅增長。
部分設備儀器已能滿足國內需求。6英寸集成電路設備大部分可立足國內；部分8英寸設備已進入生產線使用；TN/STN-LCD全套后工序設備、部分TFT-LCD后工序設備和TN/STN-LCD前工序設備已批量生產；國產LED后封裝設備已占國內市場的20%；太陽能電池生產設備已基本成套供應并實現出口；軟磁鐵氧體、硬磁鐵氧體等生產線國產設備的國內市場占有率已達90%，中低檔設備已全面取代進口并實現出口，為我國磁性材料產量位居世界第一發揮了重要作用。部分中低端電子元器件設備和電子測量儀器產品已實現產業化并走向國際市場。
技術創新取得新進展。“十五”期間，在政府、企業和研究機構的共同努力下，國內電子專用設備和儀器技術創新取得了一定進展。100nm高密度等離子體刻蝕機、大傾角等離子注入機已初步實現產業化，步進掃描光刻機和一批8英寸設備研發取得重要進展。絲印、編帶等片式元件和部分鋰離子電池設備已研制成功，表面貼裝焊接設備已具有較高的國內市場占有率。光通信測試儀器技術水平已接近國際先進水平，部分技術含量較高的國產儀器已成功研制。
同時，目前我國電子設備和儀器制造業還存在許多困難和問題，主要是：產業發展水平總體較低，關鍵技術基礎和設備研發制造能力仍然薄弱，難以適應電子信息產業發展的需要；產業集中度低，具有國際競爭力的企業和企業集團少；對外依存度高，引進國外技術的消化吸收工作跟不上；市場環境不完善，鼓勵外商投資和促進國內產業發展的政策法規還不健全，設備儀器關稅倒掛，政府投入不足；二手設備大量、廉價進口對國內產業形成了較大沖擊；缺乏能夠開發具有自主知識產權產品的高層次人才。
二、“十一五”面臨的形勢
（一）市場分析
1、 世界市場
世界電子專用設備和儀器市場規模多年來一直保持較快增長，2000年達到頂峰，2001年出現大幅下滑，此后開始緩慢復蘇，2004年基本恢復到2000年水平，市場規模達1350億美元，占世界電子信息產品市場規模的6.84%。預計未來幾年市場規模將以3.5%的增長率保持穩定增長，到2010年市場規模將達到1700億美元。其中，半導體和集成電路設備市場規模將達450億美元，TFT-LCD、PDP、OLED和LED等新型顯示器件專用設備將超過200億美元，SMT設備將超過50億美元，電子測量儀器將達260億美元。
2、國內市場
“十五”期間，我國電子專用設備和儀器市場快速增長，國內市場規模年均增長超過40%，2005年市場規模達1100億元。隨著國內電子信息產業規模不斷擴大，現有設備和儀器不斷更新換代，電子專用設備和儀器市場規模將繼續保持高速增長，預計“十一五”期間國內電子專用設備和儀器市場規模增速將達15～20%，2010年市場規模將達2000-2500億元。
（二）技術趨勢
電子專用設備和儀器的生產技術和產品更新速度明顯高于其他產業，先進的技術裝備和儀器在相當程度上已成為現代信息科技的融合體。隨著信息技術的飛速發展，電子專用設備和儀器自動化程度及技術門檻越來越高。未來幾年，電子專用設備和儀器將向數字化、高精度、集成化、智能化等方向發展。
電子專用設備制造與工藝、軟件開發的結合越來越緊密，裝備制造商已從單純的提供硬件設備向提供全面解決方案和全方位服務的方向拓展。半導體和集成電路專用裝備將適應大直徑、細線寬、超薄膜等工藝需求，趨向于設備單片式、集成化和生產線自動化。新型電子元器件設備將以先進的精密制造技術為依托，向系統化、集成化、智能化、敏捷化、綠色化方向發展。TFT-LCD專用設備趨向于加工尺寸增大，精度、集成度、自動化程度、產品與工藝結合程度不斷提高。SMT制造設備將向多功能、柔性化的集成系統發展；電子整機裝聯設備將全面實現無鉛化。隨著對產品小型化的追求，器件的封裝和組裝技術開始出現相互交叉。
電子測量技術與通信、計算機技術融合進一步加快，軟件技術所占比重越來越高。自動測試系統將逐步從基于PC和總線結構向基于網絡方向發展，整機測試儀器將向功能模塊化、集成化方向發展，數字通信測試儀器和通用測試儀器將向高速度、實時化方向發展，大量以數字信號處理芯片為代表的集成電路和新型元器件應用推動電子測量儀器的測試性能迅速提高。
（三）面臨的環境
當前，我國國民經濟總量持續增長，電子信息產業規模不斷擴大，但產業發展總體上仍處于國際分工的中低端，設備和儀器制造業整體水平與發達國家相比還存在較大差距。為實現我國電子信息產業健康、可持續發展，必須加快電子專用設備和儀器產業發展。
我國經濟發展目前正處于工業化、市場化、國際化進程加快的階段，未來幾年，消費結構、產業結構、投資結構將不斷調整升級，產業對電子專用設備和儀器的需求將持續增加。同時，隨著國內電子信息技術、加工工藝水平的不斷提高，電子專用設備和儀器發展具備了良好的產業技術基礎。
“十一五”期間，國家高度重視電子專用設備和儀器產業。《2006-2020年國家信息化發展戰略》將突破集成電路、軟件、關鍵元器件、關鍵工藝裝備等基礎產業的發展瓶頸，培育有核心競爭力的信息產業作為我國信息化發展的戰略重點之一，科技中長期規劃已將極大規模集成電路制造裝備及成套工藝列為國家科技重大專項，《國務院關于加快振興裝備制造業的若干意見》（國發[2006]8號）將集成電路關鍵設備、新型平板顯示器件生產設備、電子元器件生產設備、無鉛工藝的整機裝聯設備等電子專用設備列入“十一五”重點突破的關鍵領域。隨著相關國家專項和產業政策的落實，電子專用設備和儀器產業發展環境將進一步趨好。
但是，信息技術的快速發展，電子信息產品更新換代速度不斷加快，對電子專用設備和儀器提出了更高要求，并進一步提高了產業進入技術門檻。當前，全球電子專用設備和儀器的美日歐競爭格局已基本形成，企業間的大規模重組兼并不斷涌現，跨國公司的行業壟斷現象日漸突出，市場進入難度增大。由于我國電子專用設備和儀器產業技術基礎薄弱，市場環境和政策環境尚不完善，研發人才缺乏，在該領域仍然受到國際上較為嚴格的技術封鎖，依靠技術引進和產業轉移帶動產業發展的機會相對較小，未來產業發展面臨嚴峻挑戰。
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